Tấm wafer kết cấu silicon

Tấm wafer kết cấu silicon

Dòng sản phẩm wafer silicon cấu trúc này được thiết kế để cung cấp nền tảng cơ học kiên quyết cho các kiến ​​trúc thiết bị phức tạp. Được tối ưu hóa trên toàn bộ phạm vi công nghiệp từ2 inch (50mm) đến 12 inch (300mm), các chất nền này hoạt động như một máy chủ có độ chân thực cao-, được thiết kế để giảm thiểu biến dạng vật lý và duy trì sự gắn kết hình học tuyệt đối trong các môi trường chế tạo đòi hỏi khắt khe nhất.

Khả năng chống biến dạng vượt trội:Tấm wafer được thiết kế để chống biến dạng đàn hồi và dẻo trong quá trình-điều khiển bằng robot tốc độ cao và mâm cặp chân không chính xác. Độ cứng của cấu trúc này đảm bảo rằng các kích thước quan trọng vẫn còn nguyên vẹn, ngăn ngừa hiện tượng cong vênh vi mô- có thể dẫn đến sai lệch trong in thạch bản hoặc hỏng liên kết.

Ổn định cơ nhiệt:Được thiết kế để tồn tại khi bị trừng phạtngân sách nhiệt, vật liệu duy trì hình dạng và độ phẳng thông qua các chu kỳ lặp đi lặp lại của quá trình oxy hóa ở nhiệt độ-cao và ủ nhiệt nhanh (RTA). Bằng cách giảm thiểu độ trượt của lưới và ứng suất-do nhiệt, chất nền hỗ trợ quá trình sản xuất ổn định choIC nguồn (IGBT/MOSFET) và MEMSthiết bị.

Độ trung thực hình học nhất quán:Sự kiểm soát có hệ thống của chúng tôi đối vớiTổng biến thiên độ dày (TTV)và các thông số cung/dọc đảm bảo rằng mỗi lô mang lại hành vi cấu trúc có thể dự đoán được. Tính nhất quán này cho phép cửa sổ quy trình rộng hơn trong quá trình làm phẳng cơ học-hóa học (CMP) và khắc khô, tương quan trực tiếp với quá trìnhnăng suất mức wafer-(WLY)dành cho thiết bị điện tử cấp công nghiệp-.

Chú phổ biến: tấm wafer cấu trúc silicon, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất tấm wafer cấu trúc silicon Trung Quốc